我市获批主导制定全国首个电子级乙硅烷行业标准
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近日，工业和信息化部下达2023年第一批行业标准制修订和外文版项目计划。记者昨日从芜湖市市场监管局获悉，由安徽亚格盛电子新材料有限公司、芜湖市标准化研究院联合申报制定的《电子级乙硅烷》行业标准获批立项。
电子级乙硅烷是半导体用电子特气，主要应用于非晶硅生长、外延生长、化学气相沉积、扩散、离子注入等工艺中,广泛应用在半导体、集成电路、太阳能电池等领域。该行业标准适用于硅化镁法（小松法）、硅烷直接合成法、六氯乙硅烷还原法制备的电子级乙硅烷，将填补电子级乙硅烷产品标准空白，明确电子级乙硅烷的技术指标，规范不同研制单位对产品质量的控制要求，有助于国产乙硅烷的推广和应用，从而支撑国内半导体产业链的快速发展。
据悉，该行业标准是市标准化院服务战略新兴产业高质量发展、推动企业在科技成果转化为技术标准上的重要突破，也是我市获批建设安徽省标准化创新中心（半导体用前驱体材料）后的一项重要成果，为推进半导体用前驱体材料标准化研究与应用打开了局面。
大江晚报记者 芮娟